SubsidieMeestersAutomated Transfer of Graphene
Dit project richt zich op het verbeteren en automatiseren van de overdracht van graphene naar 200 mm wafers, met als doel minimale schade en contaminatie voor een betrouwbare productie in de halfgeleiderindustrie.
Projectdetails
Inleiding
Grapheneproductie heeft een lange weg afgelegd sinds de eerste kleine vlokken materiaal werden geïsoleerd met behulp van plakband en grafiet in 2004. Aangezien de isolatie van graphene uit grafiet met de hand geen haalbare productiemethode is voor toepassingen in de halfgeleiderindustrie, heeft Applied Nanolayers (ANL) een geautomatiseerde CVD-productiemethode voor graphene ontwikkeld op wafers van standaardgrootte 200 mm in de halfgeleiderindustrie. Dit is een essentieel onderdeel bij het opzetten van een betrouwbare toeleveringsketen voor de integratie en industrialisatie van graphene in nieuwe sensoren, opto-elektronische toepassingen en dunne membranen.
Projecthistorie
ANL heeft in 2014 met succes zijn eerste MIT-project geïmplementeerd (MITHT13099), wat resulteerde in de hierboven genoemde geautomatiseerde CVD-productiemethode. Dit project (SPG) bestond uit:
- Vacuüm- en thermisch ontwerp
- Constructie en installatie van de apparatuur
- Testen en procesontwikkeling
Uitdagingen
Er blijven echter enkele uitdagingen om op te lossen. Hoogwaardige graphene-groei vindt plaats op speciale substraten bij extreem hoge temperaturen. Deze omstandigheden zijn niet compatibel met reguliere apparaatfabricage in de halfgeleiderindustrie. In plaats daarvan is de processtroom er een van productie op een speciaal groeisubstraat en -systeem, gevolgd door een daaropvolgende koude overdracht van de geproduceerde graphene-laag naar andere substraten zoals:
- Silicium
- Siliciumoxide (Si, SiO2)
- PET
- h-BN
Doel van het project
Dit project heeft als doel de handmatige overdrachtsmethode van graphene en andere tweedimensionale materialen (2DM) die door Applied Nanolayers zijn ontwikkeld, te verbeteren en te automatiseren. De methode moet worden geoptimaliseerd zodat schade aan en besmetting van de graphene minimaal zijn en kan worden opgeschaald naar 200 mm wafers. Bovendien moet het geschikt zijn voor volledige automatisering.
Financiële details & Tijdlijn
Financiële details
| Subsidiebedrag | € 152.985 |
Tijdlijn
| Startdatum | Onbekend |
| Einddatum | Onbekend |
| Subsidiejaar | 2015 |
Partners & Locaties
Projectpartners
- Applied Nanolayers B.V.penvoerder
- Cels BV
Land(en)
Vergelijkbare projecten binnen MIT R&D Samenwerking
| Project | Regeling | Bedrag | Jaar | Actie |
|---|---|---|---|---|
Grafeen productie met Chemische dampdepositie technologieHet project richt zich op de ontwikkeling van een commercieel haalbare CVD grafeen productiemachine door samenwerking tussen Electron BV en Graphene Master, met als doel massaproductie van hoogwaardig grafeen. | Mkb-innovati... | € 100.000 | 2017 | Details |
Wit grafeen: Schaalbare productie en integratie van.hexagonaal boornitride met grafeen (SPHBN)Het project richt zich op het ontwikkelen van een schaalbaar productiesysteem voor hexagonaal boornitride en de integratie met grafeen om nieuwe toepassingen in de halfgeleiderindustrie te realiseren. | Mkb-innovati... | € 161.350 | 2017 | Details |
Primeur GrafeenproductieHet project ontwikkelt een machine voor kosteneffectieve productie en opslag van grafeen uit CO2, met als doel klimaatverandering te bestrijden en Nederland als wereldleider in grafeentechnologie te positioneren. | Mkb-innovati... | € 199.998 | 2017 | Details |
Grafeen vensters: Schaalbare productie en integratie van grafeenvenstersHet project ontwikkelt prototype grafeen vensters voor Tunneling Electron Microscopie om real-time nanometerresolutie in vloeistoffen te bereiken, cruciaal voor Life Science en energieonderzoek. | Mkb-innovati... | € 173.775 | 2020 | Details |
Ontwikkelen oplossing hoogwaardig grafeenfoamOntwikkeling van een innovatieve oplossing voor hoogwaardig grafeenfoam met als doel verbeterde prestaties en toepassingen in diverse industrieën. | Mkb-innovati... | € 200.000 | 2020 | Details |
Grafeen productie met Chemische dampdepositie technologie
Het project richt zich op de ontwikkeling van een commercieel haalbare CVD grafeen productiemachine door samenwerking tussen Electron BV en Graphene Master, met als doel massaproductie van hoogwaardig grafeen.
Wit grafeen: Schaalbare productie en integratie van.hexagonaal boornitride met grafeen (SPHBN)
Het project richt zich op het ontwikkelen van een schaalbaar productiesysteem voor hexagonaal boornitride en de integratie met grafeen om nieuwe toepassingen in de halfgeleiderindustrie te realiseren.
Primeur Grafeenproductie
Het project ontwikkelt een machine voor kosteneffectieve productie en opslag van grafeen uit CO2, met als doel klimaatverandering te bestrijden en Nederland als wereldleider in grafeentechnologie te positioneren.
Grafeen vensters: Schaalbare productie en integratie van grafeenvensters
Het project ontwikkelt prototype grafeen vensters voor Tunneling Electron Microscopie om real-time nanometerresolutie in vloeistoffen te bereiken, cruciaal voor Life Science en energieonderzoek.
Ontwikkelen oplossing hoogwaardig grafeenfoam
Ontwikkeling van een innovatieve oplossing voor hoogwaardig grafeenfoam met als doel verbeterde prestaties en toepassingen in diverse industrieën.
Vergelijkbare projecten uit andere regelingen
| Project | Regeling | Bedrag | Jaar | Actie |
|---|---|---|---|---|
Wafer Scale Ultra-Clean Van der Waals HeterostructuresThis project aims to develop a novel inorganic transfer technique for wafer-scale two-dimensional materials, enhancing their quality and enabling industrial applications in electronics and optoelectronics. | ERC Proof of... | € 150.000 | 2024 | Details |
Laser digital transfer of 2D materials enabled photonics: from the lab 2 the fabThe L2D2 project aims to develop a green, scalable technology for growing and integrating high-quality graphene and 2D materials onto silicon substrates, enabling industrial applications and commercialization. | EIC Transition | € 2.499.975 | 2022 | Details |
CNP distributieHet project onderzoekt de haalbaarheid van het ontwikkelen van een kosteneffectief vervoersmedium voor Carbon Nano Products, gericht op distributie en aansluiting op productieprocessen. | Mkb-innovati... | € 19.680 | 2020 | Details |
High-Quality Graphene Supports for Microspectroscopic Techniques.Developing high-quality graphene grids (HYPERGRAPH) to enhance transmission electron microscopy (TEM) performance, addressing current support limitations for improved material characterization. | ERC Proof of... | € 150.000 | 2023 | Details |
Functionalized graphenes for ink technologiesGRADERINK aims to develop eco-friendly graphene-based inks for inkjet printing of electrochemical biosensors, enhancing on-site monitoring of health and environmental safety. | ERC Proof of... | € 150.000 | 2023 | Details |
Wafer Scale Ultra-Clean Van der Waals Heterostructures
This project aims to develop a novel inorganic transfer technique for wafer-scale two-dimensional materials, enhancing their quality and enabling industrial applications in electronics and optoelectronics.
Laser digital transfer of 2D materials enabled photonics: from the lab 2 the fab
The L2D2 project aims to develop a green, scalable technology for growing and integrating high-quality graphene and 2D materials onto silicon substrates, enabling industrial applications and commercialization.
CNP distributie
Het project onderzoekt de haalbaarheid van het ontwikkelen van een kosteneffectief vervoersmedium voor Carbon Nano Products, gericht op distributie en aansluiting op productieprocessen.
High-Quality Graphene Supports for Microspectroscopic Techniques.
Developing high-quality graphene grids (HYPERGRAPH) to enhance transmission electron microscopy (TEM) performance, addressing current support limitations for improved material characterization.
Functionalized graphenes for ink technologies
GRADERINK aims to develop eco-friendly graphene-based inks for inkjet printing of electrochemical biosensors, enhancing on-site monitoring of health and environmental safety.