SubsidieMeestersKathodeluminescentie microscopie voor halfgeleider analyse
Delmic onderzoekt de haalbaarheid van innovatieve Kathodeluminescentie microscopie voor geavanceerde inspectie van complexe halfgeleiders om defecten en vertragingen te verminderen.
Projectdetails
Inleiding
De productie van nieuwe generatie halfgeleiders wordt steeds complexer: chips worden kleiner en hun rekenkracht neemt toe. In het ontwerpproces worden de features op een chip kleiner, dichter opeengepakt en wordt inmiddels ook de hoogte in gewerkt (3-D architecturen).
Ontwerpcomplexiteit
Over het algemeen geldt dat hoe kleiner de chip, er sneller en energiezuiniger kan worden geproduceerd. Echter, door de toename van de ontwerpcomplexiteit neemt de kans op defecten en vertraging in het productieproces toe. Dit komt doordat het verkleinen van de chipkenmerken het lastiger maakt om te meten wat er in de chip gebeurt.
Behoefte aan geavanceerde instrumenten
Dit vraagt om geavanceerde inspectie- en karakteriseringinstrumenten, specifiek voor de halfgeleiderindustrie.
Projectomschrijving
..CL Solutions B.V. is onderdeel van het bedrijf Delmic uit Delft. Delmic is een spin-off bedrijf van de TU Delft. In dit project wil Delmic de technische en economische haalbaarheid onderzoeken voor de ontwikkeling van een innovatieve Kathodeluminescentie microscopie voor halfgeleideranalyse.
Thema
Dit project sluit aan bij thema 5 ‘’Sleutel technologieën’’, binnen de MJEP Photonics and Light Technologies.
Financiële details & Tijdlijn
Financiële details
| Subsidiebedrag | € 20.000 |
Tijdlijn
| Startdatum | Onbekend |
| Einddatum | Onbekend |
| Subsidiejaar | 2021 |
Partners & Locaties
Projectpartners
- CL Solutions B.V.penvoerder
Land(en)
Vergelijkbare projecten binnen MIT Haalbaarheid
| Project | Regeling | Bedrag | Jaar | Actie |
|---|---|---|---|---|
Inline Photonics Visual Inspection TesterSettels onderzoekt de haalbaarheid van een inline testmachine voor photonic integrated circuits om de kwaliteit en productiecapaciteit te verbeteren. | Mkb-innovati... | € 20.000 | 2021 | Details |
Haalbaarheidsstudie naar ontwikkeling Scanning Shapiro MicroscopeQuantamap ontwikkelt een innovatieve Scanning Shapiro Microscope om de microgolfintensiteit op nanoschaal te meten, ter ondersteuning van de groei van quantumcomputers en qubits. | Mkb-innovati... | € 20.000 | 2023 | Details |
Haalbaarheidsstudie geautomatiseerde inspectie productieprocesThal Technologies onderzoekt de haalbaarheid van een geautomatiseerd AI/ML inspectieproces voor industriële led modules om kwaliteit en traceerbaarheid te waarborgen in kritieke markten. | Mkb-innovati... | € 20.000 | 2022 | Details |
UV-verlichtingsapparaat en Automated Crystal Detection voor kristallisatieSmidgentec B.V. onderzoekt de haalbaarheid van een systeem voor structurele analyse van eiwitten, gericht op het verbeteren van inzicht in hun functie voor academische en farmaceutische onderzoekers. | Mkb-innovati... | € 20.000 | 2020 | Details |
Haalbaarheidsonderzoek naar de kwaliteitsinspectie bij de productie van lab-on-a-chip productenHet project onderzoekt de haalbaarheid van een geautomatiseerd kwaliteitsinspectiesysteem voor lab-on-a-chip producten, gericht op economische en technische randvoorwaarden voor verdere ontwikkeling. | Mkb-innovati... | € 20.000 | 2023 | Details |
Inline Photonics Visual Inspection Tester
Settels onderzoekt de haalbaarheid van een inline testmachine voor photonic integrated circuits om de kwaliteit en productiecapaciteit te verbeteren.
Haalbaarheidsstudie naar ontwikkeling Scanning Shapiro Microscope
Quantamap ontwikkelt een innovatieve Scanning Shapiro Microscope om de microgolfintensiteit op nanoschaal te meten, ter ondersteuning van de groei van quantumcomputers en qubits.
Haalbaarheidsstudie geautomatiseerde inspectie productieproces
Thal Technologies onderzoekt de haalbaarheid van een geautomatiseerd AI/ML inspectieproces voor industriële led modules om kwaliteit en traceerbaarheid te waarborgen in kritieke markten.
UV-verlichtingsapparaat en Automated Crystal Detection voor kristallisatie
Smidgentec B.V. onderzoekt de haalbaarheid van een systeem voor structurele analyse van eiwitten, gericht op het verbeteren van inzicht in hun functie voor academische en farmaceutische onderzoekers.
Haalbaarheidsonderzoek naar de kwaliteitsinspectie bij de productie van lab-on-a-chip producten
Het project onderzoekt de haalbaarheid van een geautomatiseerd kwaliteitsinspectiesysteem voor lab-on-a-chip producten, gericht op economische en technische randvoorwaarden voor verdere ontwikkeling.
Vergelijkbare projecten uit andere regelingen
| Project | Regeling | Bedrag | Jaar | Actie |
|---|---|---|---|---|
Super-resolution microscopy for semiconductor metrologyThe MICROSEM project aims to develop a super-resolution microscopy technique using high-harmonic generation for sub-100 nm imaging in semiconductors, enhancing metrology without labeling. | ERC Proof of... | € 150.000 | 2024 | Details |
Developing First-in-Class Diamond-based Quantum Microscopy for immediate semiconductor industry applicationsQuantumDiamonds is developing a Super-resolution Quantum Imager for the semiconductor industry to achieve sub-100 nm imaging resolution and rapid diagnostics for chip defects, aiming for commercialization. | EIC Accelerator | € 2.475.229 | 2024 | Details |
Ontwikkeling "Confocale Scanhead"Het project richt zich op het ontwikkelen van een verbeterde confocale microscoop om nieuwe toepassingen in de optische microscopie te realiseren, met als doel fundamentele biologische inzichten te verkrijgen. | Mkb-innovati... | € 198.834 | 2015 | Details |
Supergeleidende multipixel detectoren met geprinte bekabelingHet project richt zich op het ontwikkelen van innovatieve bekabeling voor supergeleidende elektronica om de prestaties van multi-pixel optische sensoren in quantum computing te verbeteren. | Mkb-innovati... | € 203.000 | 2017 | Details |
Extended Depth of FieldNedinsco en Innovate Precision ontwikkelen een innovatief optisch systeem met Extended Depth Of Field voor real-time inspectie in de semicon markt, gericht op groei en economische waarde tot €17 miljoen in 2026. | Mkb-innovati... | € 294.455 | 2018 | Details |
Super-resolution microscopy for semiconductor metrology
The MICROSEM project aims to develop a super-resolution microscopy technique using high-harmonic generation for sub-100 nm imaging in semiconductors, enhancing metrology without labeling.
Developing First-in-Class Diamond-based Quantum Microscopy for immediate semiconductor industry applications
QuantumDiamonds is developing a Super-resolution Quantum Imager for the semiconductor industry to achieve sub-100 nm imaging resolution and rapid diagnostics for chip defects, aiming for commercialization.
Ontwikkeling "Confocale Scanhead"
Het project richt zich op het ontwikkelen van een verbeterde confocale microscoop om nieuwe toepassingen in de optische microscopie te realiseren, met als doel fundamentele biologische inzichten te verkrijgen.
Supergeleidende multipixel detectoren met geprinte bekabeling
Het project richt zich op het ontwikkelen van innovatieve bekabeling voor supergeleidende elektronica om de prestaties van multi-pixel optische sensoren in quantum computing te verbeteren.
Extended Depth of Field
Nedinsco en Innovate Precision ontwikkelen een innovatief optisch systeem met Extended Depth Of Field voor real-time inspectie in de semicon markt, gericht op groei en economische waarde tot €17 miljoen in 2026.