Marktstudie hoge elektron mobiliteit voor OLED displays

Inleiding

SALDtech, gevestigd te Eindhoven, is in juli 2018 opgericht als spin-off van TNO. De onderneming heeft de ambitie een leidende positie te veroveren op de markt voor dunne film depositie machines voor de productie van flexibele OLED-displays en flexibele elektronica, welke worden verwerkt in onder andere TV’s en mobiele telefoons. Levering van deze machines gebeurt wereldwijd, met de nadruk op Azië waar het zwaartepunt van de display industrie zich bevindt. SALDtech gebruikt hiervoor spatiele ALD (Atomic Layer Depositie) technologie, die een kwalitatief hoogwaardige laag kan deponeren.

Applicatie en Behoefte

SALDtech heeft als eerste applicatie een zogenaamde encapsulatie laag ontwikkeld; deze beschermt het gebruikte OLED-materiaal tegen vocht dat in de omgevingslucht zit. In gesprekken met klanten is gebleken dat er behoefte is aan vervanging van een andere laag, de oxide halfgeleider laag waarmee TFT’s, oftewel thin film transistors, worden gemaakt. De reden is dat de zogenaamde elektron mobiliteit die nu gehaald wordt te laag is om aan een aantal wensen van de klant te voldoen, zoals een hogere schermresolutie en snellere schermverversing.

Huidige Situatie

Op dit moment wordt gebruikgemaakt van het materiaal Indium-Gallium-Zink-oxide (IGZO), welke wordt aangebracht door middel van Physical Vapor Deposition (“sputteren”). Dit materiaal heeft een mobiliteit van 10-15 cm²/Vs. De wens in de industrie is om oxide halfgeleiders met een mobiliteit groter dan 50 cm²/Vs mogelijk te maken. Een van de manieren om dit te bewerkstelligen is door het heel precies stapelen van hele dunne lagen (zogenaamde stacks). ALD lijkt de ideale techniek te zijn om deze stacks op grote oppervlakken reproduceerbaar te kunnen maken, waardoor dit een potentiële nieuwe business case voor SALDtech is.

Doelstellingen van de Haalbaarheidsstudie

Daarom wil SALDtech een haalbaarheidsstudie uitvoeren met de volgende doelstellingen:

1. Validatie of er voldoende markt is om de ontwikkeling van een machine die de gevraagde elektron mobiliteit haalt te rechtvaardigen.
2. Wat kost het doorontwikkelen van de huidige machine naar een machine die deze stacks kan deponeren?
3. Is het mogelijk om stacks met voldoende kwaliteit te deponeren, theoretisch en praktisch?
4. Halen deze lagen de mobiliteit van meer dan 50 cm²/Vs?

Onderzoeksmethoden

Uit de antwoorden op deze vragen zal blijken of er een tweede business case is voor SALDtech. De vragen 1 en 2 zullen vooral door desk research, discussies met klanten en leveranciers worden beantwoord. De vragen 3 en 4 zullen door het doen van deposities en deze te kwalificeren worden beantwoord. De deposities zullen bij TNO worden uitbesteed.